한국교통대 정용진 교수팀, 게이트 절연층 인쇄 공정기술 개발

[충청매일 박연수 기자]

한국교통대학교(총장 박준훈) 신소재공학전공 정용진(사진) 교수 공동연구팀이 유기집적회로용 게이트 절연막의 프린팅 공정 기술을 개발했다고 19일 밝혔다.

영남대 화학공학부 김세현 교수와 공동연구팀을 운영해 온 정 교수는 이번 연구를 통해 트랜지스터의 게이트 전극과 반도체 채널층의 누설전류를 방지하고 소자 성능을 제어할 수 있는 기술을 개발했다.

또한, 유기물 강유전체, 유·무기 나노하이브리드 절연막 소재에 이르는 다양한 소재를 선택적으로 패터닝 해 하나의 기판 위에 n-형, p-형 트랜지스터, 메모리 소자 각각에 적합한 절연막을 가진 회로를 구현하고 단위소자의 구동전압과 기능 특성을 확인했다.

이와 함께, 연구팀은 이러한 공정 기술 연구를 확장시켜 유연 기판 위에 메모리 소자와 구동소자을 집적하거나 NAND, NOR와 같은 논리회로 소자를 제작, 유연 집적 회로의 실제적 상용화를 위한 공정 단가 절감 기술의 적용 가능성도 확인했다.

정 교수는 “지속적인 연구를 통해 회로의 집적도와 성능을 증가시켜 차세대 유연 웨어러블 전자소자의 상용화를 더욱 앞당기도록 노력하겠다”고 말했다.

한편, 이번 연구 결과는 소재 관련 저명한 저널인 ACS Applied Materials and Interfaces 1월호에 게재됐고 정용진 교수는 교신저자로 참여했다.